咱们要用到的那个Essential Macleod软件,主要是用来模拟双面镀膜的。以前设计的时候,这块软件默认是只用一层薄膜镀在基板上的。而现在用Stack的话,基板两边的材料是平行的,这样光在里面走的角度才一样。每层膜都夹在介质或者基底中间,具体是啥介质和多厚都能定义。外头的入射介质和出射介质可以看成无限厚的,不过中间的那些层厚度肯定是有限的。这里有个关键点:膜层得支持完全干涉,像真的膜那样考虑后表面反射啥的。为什么基底不支持干涉?因为板子厚得按毫米算,波长才几纳米,两者差得太多了。入射角、波长稍微变点,对路径差的影响看起来不大,可对相位变化影响特别大。最后各种光混一块儿,条纹就被冲没了。在Design文档里做设计时,我们假设光是单色又准直的,那点变化影响不大就忽略了,设计时就全相干了。 图1显示的是当基板够厚的时候根本不用管干涉。如果想算基板的干涉效果,就得把基板当成一层膜来算。要是角度或波长变化大呢?就算设计里的层也不干涉了,那又怎么办?这就叫部分相干。这些功能都得在Stack里用。这里面要输入光的准直度(用圆锥半角表示)和单色性(用光谱带宽表示)。这些参数在Design文档里没法直接输进去,除非你在Stack里先设置好了。 Stack第一列有个Medium Type选项,分Parallel和Wedge两种。光是透过或者反射出来以后得被个接收器接住。咱们默认这个接收器灵敏度是均匀的。可它不一定能接住所有在各个面之间来回弹的光。一种极端是全接住(Parallel),另一种是只接离它最近的那一次反射(Wedged)。假设别的光都跑出去了没传过来的话,Wedged就不收反射光了。要是有成像系统的话,Wedged算的是像的位置,Parallel算的是所有光的情况,两者的差别就是杂散光。 图2就是之前那个设计文档加了Medium条目后的样子。先是给平行基板加个3毫米厚的背面膜层,最后设置出射介质为空气。一般来说薄膜材料的消光系数不太准,没法用在很厚的层上。对于厚材料来说更靠谱的办法是直接给定厚度内的透射率,因为这个数比吸收系数更好弄。要想用这个功能就点开Design文件选Display Setup,再点Medium选项。设计文档就变成图2这样了,多了Medium Type和Medium Thickness两列;或者直接在File菜单里选New-Stack也行。