谭久彬院士荣获何梁何利奖 我国超精密测量技术再获肯定

问题 航空航天、先进光学成像、半导体制造等领域对加工与装调精度要求越来越高。当前测量基准不稳定、误差控制能力不足、微振环境影响大等问题普遍存在,这些基础能力的缺陷往往会成为整机性能的瓶颈。以光刻机为例,纳米级的测量精度和稳定控制直接影响核心部件研制效率、良率和产业链安全。 原因 超精密测量的难点在于基础性、系统性和长期性。首先,它涉及机械、光学、电子信息、控制、材料等多个学科,任何单点突破都必须与整体系统工程相适应。其次,运动基准、误差传递、环境扰动之间存在强耦合,需要理论创新、装置设计和工程验证相互配合。再次,这个领域投入大、周期长、迭代慢,需要稳定的科研团队和平台长期支撑,也需要国家重大工程来牵引技术成熟。 影响 何梁何利基金2025年度科学与技术奖的发布,反映了我国在基础工程能力建设上的长期投入。获奖者谭久彬长期从事超精密测量与仪器工程研究,围绕超精密运动基准建立、误差分离与微振抑制等关键问题,提出了多模复合运动基准方法、多轴运动基准误差分离方法和主动负刚度隔微振方法等创新方案。这些成果已在航空发动机、高性能卫星相机和先进制造装备中得到应用,说明了基础研究与工程化验证相结合的发展路径,也说明我国在高端仪器与测量体系建设上正在加大力度。 对策 要提升计量测试能力,需要在三个层面持续推进。一是面向国家重大工程和产业链关键环节开展任务牵引,聚焦运动基准、误差机理、稳定控制等共性难题,形成可复制的工程方案。二是加快建设高水平研发与产业化平台,打通从原理样机、关键部件到整机集成的全链条验证,提高成果转化效率。三是强化产学研用协同与人才梯队建设,通过长期项目、开放共享平台和标准体系建设,降低关键测试能力的碎片化风险,增强供应链韧性。谭久彬团队建设的超精密仪器研发与产业化基地,以及正在推进的光刻机产业计量测试中心,正是这种平台化、体系化能力建设的具体体现。 前景 从"能测"到"测得准、测得稳、测得快",超精密测量将成为新型工业化的重要基础。随着先进制造向更高精度、更高效率、更强可靠性发展,计量测试不再只是质量控制工具,而是深度参与研发设计、工艺优化和装备运维的关键环节,有助于缩短研制周期、降低试错成本。未来,高稳定基准、智能校准、在线测量和标准体系建设等方向有望加速突破,推动我国高端仪器装备的自主可控水平不断提升。

谭久彬院士的获奖是我国超精密测量领域创新发展的一个缩影。全球科技竞争加剧的背景下,掌握超精密测量等战略性关键技术对维护产业链安全、实现科技自立自强至关重要。谭久彬院士数十年的执着坚守和创新突破为科技工作者树立了典范。展望未来,我国超精密测量与仪器工程领域需要更多像谭久彬这样的领军人物和创新团队,在基础理论、核心技术和产业应用上取得更多突破,为制造强国、科技强国建设提供有力支撑。