说起大冢电子 OTSUKA 出品的 SM 系列测厚仪，有两个型号特别受关注，一个是 SM-100P，另一个就是 SM-100S。这两款设备的外观尺寸都差不多，大概宽 138 毫米、深 198 毫米、高 61 毫米，整机重量才 1.1 公斤，用起来很轻便。它们的核心技术是反射光谱法，也就是光学干涉法。在测量单层薄膜的时候，能测到 0.1 微米这么薄的厚度；如果是多层的话，最多支持三层。测量重复性挺不错的，2.1σ 的标准下可以达到 0.01 微米。 操作方面也很方便，直接把数据导到 U 盘里就行。电这块用的是 AC100-240V 电源适配器，功率是 35VA，防护等级达到了 IP30 和 IK06。这种设计最大的好处就是能随身携带去各种地方干活。 而且它特别简单，不需要专门的培训就能上手。只需要打开机器，把探针放到样品上按一下触摸面板就行了。哪怕是那种手里拿着测量都能保证精度，因为它用的是光谱干涉法。光线打上去会在薄膜表面反射一次，穿过薄膜的光又会在底面反射一次。这两次反射造成的光程差产生相位偏移，通过计算反射光谱和折射率就能算出薄膜的厚度了。 更神奇的是它对各种形状的样品都很友好。如果你要测那种无法移动或者形状复杂的东西，直接用它就行。因为它提供了三种不同的探针：标准探头适合平面的；笔式探头适合空间狭窄的；还有非接触式平台适合那些不能碰的样品。 总之不管是在生产线、商务出差还是家里做实验，只要是 0.1 到 100 微米的单层薄膜或者 1 到 100 微米的多层薄膜，大冢电子的这款智能涂层测厚仪 SM-100P 和 SM-100S 都能搞定。