我国首台12英寸碳化硅全自动清洗设备完成交付 高端半导体装备自主化实现重要突破

2026年2月27日，扬帆半导体科技有限公司自主研发的首台12寸碳化硅RCA刷洗一体机正式出货；此突破意味着我国在第三代半导体核心装备领域迈出重要一步，打破了国外企业在高端半导体清洗设备上的垄断，为国内碳化硅产业发展提供了有力支撑。

高端清洗设备的成功出货，标志着我国宽禁带半导体产业正在从追赶转向超越。面对新一轮技术发展和产能扩张，只有坚持创新驱动、强化验证体系、促进上下游协同发展，才能让关键装备真正成为提升产品质量、保障供应链安全的有力支撑。