东莞南力做的防腐压力传感器，就专门用来把半导体清洗过程的环境搞得干干净净的。因为在做芯片的时候，要是在晶圆表面留的东西不干净，哪怕是个小点，最后芯片都会坏或者用不住。想让晶圆上没有东西，就得在设备里面把液体环境弄得又稳定又干净。这个时候，怎么把化学药水流准、把压力管够就很关键了。 要想管准压力，厂家就在设备里面放了很多传感器。比如东莞南力测控的扭矩传感器或者压力传感器。你们打开百度APP扫个码就能下载这些设备的资料了。 为啥要盯着压力看呢？要是压力乱晃，那液体流动不均匀，或者产生气泡沾在晶圆上，不就又脏了吗？压力传感器这时候就像是个哨兵一样盯着现场情况。它们自己不干活儿，只是把数据实时传给控制系统看。 不过干这个活很不容易。传感器天天泡在氢氟酸、硫酸、双氧水这些强腐蚀性的液体里，一般的塑料膜片或者接液的东西很快就烂了。烂掉的东西自己又变成了脏东西污染管路和水槽。 所以这种传感器必须用特种合金或者陶瓷做的材料才行。这种材质能耐得住各种酸的腐蚀。还有接液的地方设计得越平滑越好，不能有死角或者小坑。因为有坑的地方容易藏细菌或者小颗粒，一冲就把脏东西带出来了。 另外长期用也不能老是出问题。要是信号不准了就得修或者换新的，这一停说不定就把晶圆露在了不受控的环境里。这就要求传感器本身的元件得稳当、材料得抗老、结构得密封严实。 最后还有一点特别重要：在超纯水里头哪怕一点点金属离子跑出来都不行。这会让水的电阻改变，影响清洗效果。所以这些合金、陶瓷在制作的时候必须清洗得特别干净、封装得严严实实。 综合起来看，半导体清洗对压力测量的要求特别高。既要材料能耐腐蚀、设计要干净、寿命要长久、还得让金属不跑出来。这种传感器的好坏直接决定了工厂能不能一直保持高水平的干净环境。