在全球半导体产业都在拼命搞尖端制程、建起技术高墙的时候,特斯拉的首席执行官埃隆·马斯克又冒出了个大想法。他宣布特斯拉要建的TeraFab超级工厂,不光要自己搞2纳米芯片,还要给芯片行业里大家都守着的“洁净室”标准来个大挑战。马斯克在接受采访时甚至还立了个赌约,说以后自己可以在这工厂里一边吃汉堡、一边抽雪茄。这个说法很快就在科技界和制造业引起了不小的震动。 现在造高端芯片是精密工业里最牛的活儿,环境要求特别苛刻。所谓的“洁净室”,就是靠高效的空气过滤系统,把温度、湿度、灰尘、震动还有化学污染物都管得死死的。特别是2纳米这么先进的制程,生产线通常得维持在ISO 1级或者2级的最高标准,也就是每立方米空气中的微粒数量连个位数都不到。这是因为芯片上的晶体管已经小到了纳米级别,任何一点微小的污染物,相对来说就像大石头砸下来一样,都可能把整片晶圆给搞报废,那损失可大了去了。要维持这么高的清洁度,得消耗大量能源、盖复杂的设施、还要一直花钱运维,这是造芯片里必不可少的大头支出。马斯克这次就是要动这个行业的老本。 他提出的解决办法说白了就是“晶圆隔离”。照他的意思,防护的重点不用把整个大车间都弄得那么干净,只要把装晶圆的盒子本身给弄严实了就行了。在这个盒子里无论怎么传送、加工还是存放,晶圆都被密封起来与世隔绝。理论上讲,如果每一步都能做到这一点,车间外面的环境干净程度就可以稍微降低点。马斯克用这个逻辑来批评传统的那种又大又贵的超洁净室模式既费钱又没必要,想给造芯片找出一条能省大钱的新路。 不过这想法遭到了很多专家和业内人士的质疑。大家主要是卡在几个关键技术上卡壳了:第一是完全隔离到底行不行。造芯片工序多了去了,包括光刻、刻蚀这些复杂的活计,晶圆得在各种大型精密设备之间跑来跑去定位加工。要做到从头到尾完全隔绝不引入一点污染,就得设计一套特别复杂完全密封的自动化系统才行。现在大家用的前端开口式晶圆盒(FOUP)虽然能在传送时稍微保护一下,但真正干活的时候晶圆还是得露在设备里面的特定环境里。想要弄一个什么都能装进去的万能盒子让它在所有工艺里都能隔离得死死的,这工程难度高得吓人。 第二是怕伤了核心设备。就算晶圆是安全的了,车间里那些烟味、油脂、飞沫还有化学挥发物这些污染东西还是到处乱飞的。这些东西要是飘到价值几亿美元的核心设备上可了不得。比如极紫外(EUV)光刻机里面的镜子特别娇气,一点点灰尘都可能让它受损。如果车间环境脏了导致这些镜子出问题或者没法用了,那维护成本就高得离谱甚至可能直接停工不干了。 还有就是成本能不能算清楚这个账。批评者说就算省了车间干净的钱可能也得在研发隔离系统、多花钱保养设备和因为可能会坏导致良率下降的风险上给补上。更何况还要让人在里面吃汉堡抽烟这些东西进来会带来消防和健康的问题。 半导体行业这一套规矩是经过几十年失败教训才磨出来的平衡点,不是说改就能改的。埃隆·马斯克这个能抽雪茄吃汉堡的工厂言论再次展现了他喜欢打破常规的风格。虽然这个想法现在看来很难成真但确实刺激了大家对芯片成本和技术路线的思考。 从现在的实际情况看这项设想离落地还有好长一段路要走有很多科学和工程上的难题要解决。半导体尖端制造其实是系统科学和精密工程的结合体环境控制是保证产品好卖的生命线在找不到比现在更可靠更省钱的办法之前大家普遍觉得维持高洁净室还是必须的核心。 马斯克的这次“洁净室革命”更像是个大胆的想法虽然还没成型但能把大家的思维带得更远至于最后能不能成功还得看能不能经得起科学验证和量产的考验。